核心參數(shù)：
儀器種類：原子力顯微鏡
樣品臺移動范圍：180mm*180mm
樣品尺寸：<500mm
定位檢測噪聲：X-Y<0.15nm RMS,Z=35pm RMS
產(chǎn)地類別：進口儀器
Park Hivac 管理器
NX-Hivac 真空自動控制
Hivac管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制真空條件抽氣和排氣過程來實現(xiàn)高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。
上等自動化特點
NX-Hivac具有大量功能從而能夠減少用戶輸入。換言之，您可以更快速地掃描，提高實驗室產(chǎn)量。
配備電控載物臺的StepScan自動化掃描
StepScan允許用戶能夠對器件進行編程從實現(xiàn)而快速便捷地多區(qū)域成像。NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描：掃描、提升懸臂、移動電動平臺至用戶定義坐標區(qū)域、進針及重復掃描。如此可提高生產(chǎn)率，減少用戶輸入。
電動激光對準
Park電動激光對準使用戶無需輸入即可無縫銜接自動化測量例程。憑借著預準直懸臂架，在更換探針時激光已對準懸臂。只需要調整定位旋鈕，便可在X和Y軸上任意定位激光光點，達到較好位置。
提高精度和生產(chǎn)率
NX-Hivac即是精準的高性能原子力顯微鏡，同時也是用于故障分析的簡單方便的原子力顯微鏡之一。Park
NX-Hivac幫您可以提高自己的生產(chǎn)效率，并確保取得靠譜的結果。
閉環(huán)XY和Z軸掃描儀
利用兩個獨立的閉環(huán)XY和Z軸撓曲掃描儀，您可以確信掃描的高精準度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描，使得整個掃描范圍內的離面運動距離低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色還有非線性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，無需進行軟件后期處理即可獲得精準的二維和三位測量。
低噪聲XYZ軸位置傳感器
NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業(yè)的低噪聲Z軸探測器功能，可準確測量樣本形貌，同時低噪聲XY軸閉環(huán)掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。
24位數(shù)字電子控制器
我們的控制器為全數(shù)字、24位高速器件，用戶能夠利用其執(zhí)行一系列掃描，包括我們的真正非接觸（True
Non-Contact）模式?？刂破骶哂械驮肼曉O計和高速處理部件，是精密電壓和電流測量及納米級成像的較佳之選。嵌入式電子產(chǎn)品同時具有數(shù)字信號處理特點，用戶可輕松地分析測量值和成像。
